ILS 中行程鋁步進電機線性平移臺產品規格

型號
	ILS50BPP	ILS100BPP	ILS150BPP	ILS200BPP	ILS250BPP
行程范圍	50 mm	100 mm	150 mm	200 mm	250 mm
最大速度	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s	50 mm/s
最小位移增量	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm
中心負載能力	250 N	250 N	250 N	250 N	250 N
軸向負載 (+Cx)	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N
逆軸向負載能力 (-Cx)	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N
精度，典型值	±0.6 µm	±0.8 µm	±1.5 µm	±1.2 µm	±1.7 µm
精度，保證值	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.75 µm	±5.0 µm
單向重復精度，典型值	±0.20 µm	±0.25 µm	±0.25 µm	±0.35 µm	±0.35 µm
單向重復精度，保證值	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
雙向重復精度，典型值	±0.40 µm	±0.45 µm	±0.45 µm	±0.55 µm	±0.60 µm
雙向重復精度，保證值	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm
俯仰，典型值	±15 µrad	±20 µrad	±37 µrad	±75 µrad	±42 µrad
俯仰，保證值	±25 µrad	±50 µrad	±75 µrad	±100 µrad	±125 µrad
俯仰順應性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏擺，典型值	±12 µrad	±17 µrad	±20 µrad	±25 µrad	±25 µrad
偏擺，保證值	±25 µrad	±37 µrad	±65 µrad	±80 µrad	±95 µrad
偏擺順應性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滾轉順應性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
原點重復精度	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	0.5 µm
電纜長度	3 m	3 m	3 m	3 m	3 m
螺紋類型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	4.2 kg	4.5 kg	4.8 kg	5.1 kg	5.4 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)

注釋:

1. 公制 M- 版本可供選擇。

ILS 中行程鋁步進電機線性平移臺特征

經濟型微米步進電機

對于要求不高的應用，步進電機可能是比直流電機更經濟的解決方案。 步進電機使用磁吸和排斥的基本原理進行操作，將數字脈沖轉換為機械軸的旋轉。 為了提高運動的分辨率和平滑度，這些階段均具有微米步距功能，這是一種將運動的完整步長以電子方式劃分為大量局部步長的方法。

微步進電機基本工作原理

ILS Stage Motor Options

ILS Series stages are available with the following motors:

●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.

●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.

●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.

FEM - 優化的鋁制機身

有限元法（FEM）用于優化ILS系列舞臺鋁制車體的結構設計，從而在不降低重量的情況下實現很高的剛度并大程度地減少了雙金屬彎曲。 剛體設計減少了載荷下的撓曲，從而在鋁制載物臺設計中實現了最高的性能。 還提供了FEM優化的IMS平臺，可提供更長的行程范圍，更高的負載能力和更大的移動平臺。

改善工作性能的旋轉編碼器

步進電機通常是開環運行，其位置取決于命令的步數和微米步徑。 在要求的扭矩和速度范圍內使用時，此功能可靠地工作。 但是，步進電機的運動超出其要求范圍將變得不可預測。 為避免螺絲/電機耦合錯誤，這些級的位置測量值應以4000 cts / rev的速度讀取。 旋轉編碼器直接位于螺釘上。

循環滾珠軸承滑塊

借助精確的線性軌跡，循環滾珠軸承滑軌可提供優異的有效載荷和更長的使用壽命。它可以緩解滾珠軸承罩移位的問題，該問題通常出現在線性滾珠軸承或交叉滾子軸承上。

無側隙滾珠絲杠

ILS 平移臺包含有預裝的無側隙滾珠絲杠，可實現具有較短步進時間和穩定時間的平滑且快速的運動。螺桿型材的設計在于減少熱效應，從而延長平移臺的使用壽命。

其他ILS位移臺特性

牢固的頂蓋可防止傳動系統的損壞，并且可使其免受灰塵和碎屑的影響。ILS 系列平移臺還配有實現可重復初始化的位于行程中心的原點、防止超程的限位開關以及用于平穩緊急制動的彈性行程終點阻尼器。

多軸裝配

Newport的標準電動平移臺和部件可以很容易地組合，以創建數百種可能的多軸系統。根據產品和應用的不同，我們的標準組件提供以下精密對準:

●Orthogonality to 50 µrad

●Axes Coincidence to 20 µm

XY裝配

IMS300線性平移臺（X軸）和ILS150線性平移臺（Y軸）直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸上實現高精度。

X-Θz 裝配

ILS150線性位移臺（X軸）和URS100旋轉位移臺（θz角）直接安裝在一個直線運動的軸和一個旋轉運動的軸上，以實現高精度和高精度。

XYZ 裝配

IMS線性平移臺（X軸），一個ILS線性平移臺(Y軸）直接安裝到IMS，ILS線性平移臺安裝在一個EQ120直角托架上 (Z-軸)，在三個線性運動軸上提供高精度。

X-Θy 裝配

ILS線性位移臺和 RV旋轉位移臺安裝在 EQ120 直角支架，用于在一個直線運動的軸和一個旋轉運動的軸上提供高精度和高精度。

XZ-Θz 裝配

ILS250線性位移臺（X軸）， GTS30V垂直位移臺（Z軸）和 URS100旋轉臺（Θz角）直接安裝 在兩個線性運動軸和一個旋轉運動軸上，具有較高的精度和精度。

XY-Θz 裝配

IMS300線性平移臺（X軸），一個ILS150線性平移臺（Y軸）和一個URS100轉臺 (Θz 角)直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸和一個旋轉運動軸上實現高精度。

免費提供計量報告

Newport 保證根據 ASME B5.57 和 ISO 230-2 標準測量和記錄的規格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。

ILS平移臺負載特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these stepper motor driven stages are shown below:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.